Насосы форвакуумные для высоковакуумных установок

Добыча и переработка сырья, солнечная энергия, сублимационная и трансформаторная сушка, медицинские технологии, плазменная обработка, производство аккумуляторов, технических газов - спрос на вакуумные технологии и их использование в самых разных областях практически безграничны. Такое разнообразие применений, естественно, предъявляет различные и часто очень специфические требования к требуемому вакуумному оборудованию. Для многих применений требуются не только вакуумные насосы и системы, но часто и другие аксессуары, гарантирующие правильную работу насосов и максимальный срок службы оборудования. Снижение эксплуатационных расходов также может быть достигнуто за счет использования соответствующих принадлежностей для насосов.

Для создания высокого вакуума обычно используются турбомолекулярные насосы. Такие турбонасосы не могут сжимать газ до атмосферного давления, поэтому требуется форвакуумный насос. Использование роторной воздуходувки (роторный насос Рутса) с современным турбонасосом значительно улучшает вакуумную чистоту и снижает требования к техническому обслуживанию. Во многих случаях этот безмасляный высокий вакуум абсолютно необходим.

Влияние форвакуумных насосов на вакуумную систему

Во многих применениях максимальная мощность и давление вакуумной системы в основном определяются параметрами используемого высоковакуумного насоса. Но характеристики вакуумных систем определяются не только высоковакуумным насосом, но в значительной степени также форвакуумным насосом и расположением внутри всей насосной станции.

Вакуумный насос или насосная станция поддерживают поток газа, который выбрасывается вакуумной системой. В случае вакуумного процесса, к которому добавляются технологические газы, пропускная способность газа определяется этим расходом технологического газа. Если, напротив, предполагается, что вакуумная система достигает низкого конечного давления без добавления газов, пропускная способность газа в основном определяется газом, выделяющимся с внутренних поверхностей вакуумной системы.

Как выбрать форвакуумные насос?

Если для вакуумные системы нужен форвакууумный насос, то он должен создавать давление, которое меньше максимального давления переднего вакуума используемого высоковакуумного насоса. Это максимальное давление переднего вакуума можно найти в спецификациях каждого турбонасоса и оно называется “максимальное предельное остаточное давление”. В зависимости от типа конструкции и производителя современные турбонасосы со ступенью Холвек могут работать более 20 мбар.

Таким образом, возможности выбора насосов из предлагаемых стандартных вспомогательных насосов практически не ограничены. Многие форвакуумные насосы, такие как пластинчато-роторные насосы с масляной смазкой, компактные мембранные насосы или высокопроизводительные роторные воздуходувки, способны создавать такое давление переднего вакуума по отношению к атмосфере.

Какие типы насосов можно использовать в качестве вспомогательных для высоковакуумных установок?

Получение высокого или сверхвысокого вакуума может быть эффективно достигнуто только при использовании переднего насоса, который заряжает основной насос.

Передние насосы (иногда называемые “форвакуумными насосами”) снижают давление до уровня, при котором высоковакуумные насосы могут работать безопасным, эффективным и результативным образом. Однако объединение различных типов вакуумных насосов для достижения оптимальной производительности не является простым делом. Не существует готовых насосных систем, которые охватывали бы все области применения, возможные варианты и требования одновременно, поскольку существует множество критических факторов и воздействий, которые необходимо учитывать.

Выбор насоса (как форвакуумного, так и высоковакуумного) зависит от ряда факторов, включая шум / вибрацию, стоимость (первоначальную и текущую), устойчивость к загрязнению, занимаемую площадь, графики технического обслуживания, устойчивость к пару и т.д. Однако не существует единого идеального насоса для высокого и сверхвысокого давления: каждый тип имеет свой собственный набор преимуществ и недостатков.

Основные форвакуумные насосы (которые предпочтительно являются безмасляными и сухими) включают:

• мембранные насосы;
• спиральные насосы;
• многоступенчатые насосы;
• винтовые насосы;
• и воздуходувки Рутс.

Требования к форвакуумному насосу

Форвакуумный насос работает для создания вакуума от атмосферного давления (иногда немного выше) до давления основного насоса. Форвакуумные насосы можно использовать как автономные насосы для вакуумной упаковки, термоформования, прессования, сублимационной сушки и т. д. Его также можно использовать для поддержки высоковакуумных насосов, таких как турбомолекулярные насосы и диффузионные насосы, когда требуется более высокий уровень вакуума в таких приложениях, как обработка полупроводников, масс-спектрометрия и исследования и разработки.

• Предельный вакуум, достаточный для удовлетворения требований к давлению высоковакуумных насосов - до 0,3 мбар.
• Высокая скорость откачки даже при давлении, близком к предельному вакууму.
• Низкое энергопотребление.
• Устойчивость к конденсату.
• Небольшой размер, легкий вес, низкая вибрация.

Роторные воздуходувки Рутс будут отличным выбором для высоковакуумных установок.